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北方集成电路立异中心请求具有刻蚀侧壁导电层结构电容器专利在减小电容单元面积的一起有用提高器材的贮存电荷才能和耐压水平

来源:乐鱼体彩    发布时间:2026-01-18 20:55:44

  国家知识产权局信息数据显现,北方集成电路技术立异中心(北京)有限公司和清华大学请求一项名为“电容器结构及其制备办法”的专利,公开号CN121357907A,请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现,本请求公开了一种电容器结构及电容器结构的制备办法。该电容器结构包含:基底;第1至第m个导电层,沿着远离所述基底的方向堆叠设置,相邻的两个所述导电层之间设有介质层;m为大于或等于3的整数;其间,关于第n导电层和第(n+1)导电层,n≥1,(n+1)≤m,所述第n导电层设有刻蚀侧壁,所述第(n+1)导电层掩盖所述第n导电层的所述刻蚀侧壁;所述刻蚀侧壁包含斜坡,和/或,所述刻蚀侧壁与所述第n导电层的上外表滑润过渡衔接。

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